РОЗРОБКА МЕТОДУ КАЛІБРУВАННЯ СКАНУЮЧОГО ЗОНДОВОГО МІКРОСКОПУ

Анотація

В статті досліджено методи внесення корекції у вимірювання нанооб’єктів з глибинною структурою із використанням скануючого зондового мікроскопу та розроблено методику проведення тривимірного калібрування розміру кроку датчика по поверхні вимірювального нанооб’єкту. Проаналізовано існуючі методики подібних вимірювань та доведено, що у більшості випадків при математичному розрахунку кроку датчика у нанометровому діапазоні та подальшій цифровій обробці результатів вимірювання, відсутній зв'язок між горизонтальними і вертикальними рухами, що може призвести до значних відхилень між реальними розмірами вимірювального об’єкту та його цифровою моделлю. Запропонована фізична модель процесу вимірювання, яка полягає в тому, що мікроскоп відображає висоту поверхні в ортогональному растровому вигляді та розроблена методика корекції цифрових зображень тривимірної поверхні нанооб’єкту у відповідності з еталоном, яка надає можливість вносити коригування отриманих результатів вимірювання в режимі on-line.