КОНТРОЛЬ ВИГОТОВЛЕННЯ БАГАТОШАРОВИХ ВУЗЬКОСМУГОВИХ СВІТЛОФІЛЬТРІВ НА КРАТНИХ ДОВЖИНАХ ХВИЛЬ

Анотація

Дослідження присвячено проблемі контролю виготовлення багатошарових вузькосмугових світлофільтрів на кратних довжинах хвиль та визначенню похибок, які виникають при виготовленні інтерференційних світлофільтрів методом екстремального контролю. Ця проблема набуває особливої гостроти при нанесенні на підкладки багатошарових покриттів та кратних довжинах хвиль і може спричинити випуск бракованих партій продукту, якщо її не вирішити.

Для ілюстрації наведеної вище похибки, в ході написання статті, було проведено експериментальне нанесення багатошарового покриття Ge на ряд зразків зі скла К8 та виміряно їх геометричну товщину. За допомогою формули Ейрі та методу Сванепула було визначено показник заломлення (n), коефіцієнт поглинання (k) і геометричну товщину плівки (d), на основі яких створено таблицю, що відображає зміну цих показників у залежності від довжини хвилі напилення та дозволяє вивести шукану похибку напилення.

В роботі розглянуто відхилення реальних параметрів світлофільтрів від змодельованих при їхньому виготовленні методом екстремального контролю на кратних довжинах хвиль. Приведено графік, який відображає змодельований цільовий результат. За результатами обчислень виведено відносну похибку напилення, яка є шуканим відхиленням. 

В результаті отриманих експериментальних даних було розраховано похибку фіксації шарів напилюваного матеріалу, при напиленні методом екстремального контролю на кратних довжинах хвиль. Було виявлено, що зі збільшенням довжини хвилі напилення та геометричної товщини напилюваного матеріалу ця похибка зменшується. Отримані результати можуть бути використані для подальших досліджень та корекції процесу напилення.