KVASNIKOV В, KATAІEVА М, SHKVARNYTSKA Т. DEVELOPMENT OF THE METHOD OF CALIBRATION OF THE SCANNING PROBE MICROSCOPE. ВИМІРЮВАЛЬНА ТА ОБЧИСЛЮВАЛЬНА ТЕХНІКА В ТЕХНОЛОГІЧНИХ ПРОЦЕСАХ [Internet]. 2021 Dec. 15 [cited 2024 May 18];(2):74-80. Available from: https://vottp.khmnu.edu.ua/index.php/vottp/article/view/9